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教授 韓宇
2010-10-26 09:46  

韓宇簡歷:1997年碩士畢業于遼寧大學物理系原子與分子物理專業。
副教授,碩士研究生導師,主講課程《熱力學與統計物理》、《理論物理》。
研究方向:離子注入半導體材料表面改性機理、材料物理。

主持科研項目:
1、沈陽市科技局項目《雙晶X射線衍射研究組合離子注入材料改性機理》
2、遼寧省教委項目《組合離子注入材料改性機理的研究》
發表論文:
《N2+/As+組合離子注入硅的晶格應變及退火特性》
半導體學報2004 No.4
《XRD研究組合離子注入硅的輻射損傷》
微處理機2004 No.1
《組合離子注入的雜質濃度分布與損傷分布比較》
遼寧大學學報 2004 No.1

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